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Layout-Day3-MosFET-电容-电阻

一.MOSFET

$NMOS$在$P+$上,$PMOS$在$N+$上

(1)组成:$active-area+poly-silicon$

★(2)保证良好的$Connection$:

(3)大$W/L$管

→直接做的缺点:

①寄生电容大 ②$R_{gate}$很大,会引起信号畸变

③不能在沟道上画$CT$

→采用$finger$:

减少寄生电容、电阻(大幅下降)

(4)TGO光刻层:

1.8V器件栅氧薄、3.3V栅氧厚,TGO层能区分此二者

二.电容

(1)poly-poly(要工艺支持双层poly)

一般只有$>350nm$才可以用.

(2)Metal-Metal

①mim

· 蓝色的是一个$Via$,连接到在$M3$与$M4$之间的$MCT$层上以减小$d$,增大电容

②mom

· 叉指结构

影响电容精度的因素:

三.电阻

①离子注入型电阻

· 钳位:在$Nwell$表面进行$P^{+}$注入以减小电阻噪声

②$Poly$电阻

注入$N^{+}$与$P^{+}$可以减小其电阻

注意:有些电阻的衬底需要接地

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